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TEL Furnace Robot (Kawasaki Robot )
1
LED tester
8
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Furnace / LPCVD
7
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2
Etch
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Metrology
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Microscope
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BG / BM Room
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PVD / CVD
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Pump / RF Rack /Chiller / Laser / IPC
9
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All
TEL Furnace Robot (Kawasaki Robot )(1)
LED tester(8)
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Furnace / LPCVD(7)
Photos(2)
Etch(3)
Metrology(8)
Microscope(1)
IC Backend(3)
BG / BM Room(2)
PVD / CVD(1)
CMP(0)
Pump / RF Rack /Chiller / Laser / IPC(9)
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