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TEL Furnace Robot (Kawasaki Robot )
1
LED tester
7
Other
4
Cleaner
0
Furnace / LPCVD
10
Photos
2
Etch
3
Metrology
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Microscope
1
IC Backend
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BG / BM Room
2
PVD / CVD
1
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Pump / RF Rack /Chiller / Laser / IPC
12
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All
TEL Furnace Robot (Kawasaki Robot )(1)
LED tester(7)
Other(4)
Cleaner(0)
Furnace / LPCVD(10)
Photos(2)
Etch(3)
Metrology(7)
Microscope(1)
IC Backend(1)
BG / BM Room(2)
PVD / CVD(1)
CMP(0)
Pump / RF Rack /Chiller / Laser / IPC(12)
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IC Backend
LTX-credence - Fusion CX
1. RF Mixed signal tester
